Substrate supporting unit, substrate inspecting apparatus including the unit, and substrate inspecting method using the apparatus

기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 검사 장치, 그리고 이를 이용한 기판 검사 방법


PURPOSE: A substrate supporting unit, a substrate inspecting device including the same, and a substrate inspecting method using the same are provided to reduce the photographing time of an attachment area by moving an inspection unit along the attachment area of a flat display panel. CONSTITUTION: A substrate support unit(100) supports a flat display panel. An inspection unit(400) is located on one side of the substrate support unit and inspects the attachment area with a flexible print circuit board. The substrate support unit includes a main support plate and a sub support plate. The main support plate supports the center of the flat display panel. The auxiliary support plate is arranged between the main support plate and the inspection unit. The sub support plate supports an area between the center and the attachment area and is provided independently of the main support plate.
본 발명은 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 검사 장치, 그리고 이를 이용한 기판 검사 방법을 제공한다. 기판 검사 장치는 평판 표시 패널과 그 일측에 부착된 플렉시블 인쇄 회로 기판의 부착상태를 검사하는 장치로써, 검사가 진행되는 동안 메인 지지판은 평판 표시 패널의 중심영역을 지지하고, 보조 지지판은 평판 표시 패널의 중심영역과 상기 플렉시블 인쇄 회로 기판이 부착된 부착영역 사이 영역을 지지한다. 검사 유닛은 상기 부착영역을 따라 이동하며 부착영역을 스캔촬영하고, 촬영된 이미지를 이용하여 압흔 검사, 플렉시블 인쇄회로 기판상의 이물 검사, 그리고 평판 표시 패널과 플렉시블 인쇄 회로 기판의 얼라인 검사를 실시한다.




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