Microlithographic projection exposure apparatus

마이크로리소그래피 투영 노광 장치

Abstract

본 발명에 따른 마이크로리소그래피 투영 노광 장치는 기부 본체 그리고 복수개의 미러 유닛을 갖는 미러 어레이를 포함하고, 각각의 미러 유닛은 미러 및 고체-상태 관절부를 포함하고, 관절부는 기부 본체에 미러를 연결하는 적어도 1개의 관절 부분을 갖는다. 제어 장치가 기부 본체에 대한 각각의 미러의 정렬을 변경하는 것을 가능케 한다. 미러 및 기부 본체 또는 기부 본체에 연결되는 미러 지지 본체의 상호 대향 표면이 활주 베어링의 대응 활주 표면으로서 설계된다.

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