압전 액츄에이터 및 이의 제조방법

Piezo electric actuator and manufacturing method thereof

Abstract

본 발명은 내부 층수의 증가로 인한 두께 편차의 유발을 방지하여 양호한 형상의 구현을 가능하도록 하고, 구동의 안정성 및 장기적인 신뢰성을 향상시키도록 한 압전 액츄에이터 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 압전 재료층이 다수로 배열되는 적층부와, 적층부의 양측면으로부터 교대로 반복되는 형태로 연장되어 압전 재료층 사이에 삽입되는 제 1 내부 전극과, 제 1 내부 전극 각각에 일렬로 마주 대하도록 적층부의 양측면으로부터 교대로 반복되는 형태로 연장되어 압전 재료층 사이에 삽입되는 제 2 내부 전극을 포함한다.
PURPOSE: A piezoelectric actuator and a manufacturing method of the same are provided to prevent a thickness deviation by increasing number of inner layers, thereby enabling to embody a good shape and increasing operation stability and long term reliability. CONSTITUTION: A piezoelectric actuator includes a lamination part, a first inner electrode, and a second inner electrode. A plurality of piezoelectric material layers(111) is arranged in the lamination part(110). The first inner electrode(121) is inserted between the piezoelectric material layers by being extended in an alternating form from both sides of the lamination part. The second inner electrode(122) is inserted between the piezoelectric material layers by being extended in the alternating form from both sides of the lamination part in order to respectively face with each the first inner electrode in a line.

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